专利类型：发明公开

申请(专利)号：CN202211256233.9

申请人：太阳集团tcy8722

发明人：王霞;秦冬冬;王豆;刘增;唐为华

专辑：信息科技

专题：无线电电子学

主权项：一种基于氧化镓深紫外光电探测器,其特征在于,包括：柔性氟晶云母衬底(110)；氧化镓薄膜层(120),设置在所述柔性氟晶云母衬底(110)的表面；栅介质层(130),设置在所述氧化镓薄膜层(120)的表面,且所述栅介质层(130)为绝缘透明件；其中,在所述栅介质层(130)上制备有栅电极(140),在所述氧化镓薄膜层(120)的非栅介质层区域制备有源电极(150)和漏电极(160)。

摘要：本发明公开了一种基于氧化镓深紫外光电探测器及其制备方法,光电探测器包括：柔性氟晶云母衬底；氧化镓薄膜层,设置在所述柔性氟晶云母衬底的表面；栅介质层,设置在所述氧化镓薄膜层的表面,且所述栅介质层为绝缘透明件；其中,在所述栅介质层上制备有栅电极,在所述氧化镓薄膜层的非栅介质层区域制备有源电极和漏电极。该光电探测器可以过栅极调节漏极电流,具有灵敏度高、能耗低且可控性强的特点；而且具有很好的柔韧性和透明度,在深紫外探测的可穿戴柔性电子领域有很好的应用前景；再者,由于氧化镓是在柔性氟晶云母衬底上高温沉积得到,结晶性较好、厚度和面积可调控、且具有较好的热稳定性和可重复性,制备工艺简单、易于集成。

待评估

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